Главная Институт Структура Института Лаборатория функциональных пленок и покрытий

Лаборатория функциональных пленок и покрытий

Details

  

Лаборатория создана в 1963 году в связи с организацией в ИНХ СО АН СССР отдела химии полупроводников. Первоначальное название – лаборатория полупроводниковых пленок и защитных покрытий. В состав лаборатории вошли сотрудники трех подразделений, заведующим был назначен к.х.н. Ф.А. Кузнецов. В 1971 году после выделения из ее состава группы диэлектрических слоев лаборатория получила название лаборатории эпитаксиальных слоев. За 46 лет существования из лаборатории выделились три лаборатории (лаборатории Белого В.И., Стенина Ю.Г. и Окотруба А.В.) и две группы (Васильева Я.В. и Баковца В.В.). В 2008 году в состав лаборатории вошла часть лаборатории диэлектрических слоев. В 2018 году решением Ученого совета ИНХ СО РАН (прот. № 27 от 15.03.2018) лаборатория переименована в "Лабораторию функциональных пленок и покрытий". В настоящее время общая численность сотрудников составляет 19 человек. Возглавляет лабораторию к.х.н. М.Л. Косинова.

К истории лаборатории эпитаксиальных слоёв (Румянцев Ю.М.)

 Научные задачи  Прикладные задачи   Партнеры  Оборудование  Видео 

Заведующий лабораторией к.х.н. КОСИНОВА Марина Леонидовна 57-94 330-96-05 
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.		 237(II)
Материально-ответственная МАСЛОВА Ольга Владимировна 55-65 330-96-05
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.		 210(II)
  к.х.н. БЕЛАЯ Светлана Вячеславовна 53-83
53-65		 330-96-05
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.		 205(II)
234(II)
  к.т.н. БОРИСОВ Виктор Одиссеевич 57-40 330-96-05
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.		 235(II)
  к.х.н. ДЁМИН Виктор Николаевич 57-40 330-96-05
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.		 235(II)
  к.х.н. ЕРМАКОВА Евгения Николаевна 55-65
57-71		 330-96-05
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.		 210(II)
233(II)
  КОЖЕВНИКОВ Александр Константинович 59-80
53-91		 330-96-05
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.		 204(II)
206(II)
  КИЧАЙ Вадим Николаевич 55-87 330-96-05
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.		 111(II)
  к.х.н. ЛЕБЕДЕВ Михаил Сергеевич 53-91 330-96-05
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.		 206 (II)
  к.х.н. МАКСИМОВСКИЙ Евгений Анатольевич 59-80 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. 204(II)
  к.х.н. МЕРЕНКОВ Иван Сергеевич


53-83
53-65

 330-96-05
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.		 205(II)
234(II)
  к.х.н. ПЛЕХАНОВ Александр Георгиевич 57-71 330-96-05
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.		 233(II)
  СУЛЯЕВА Вероника Сергеевна 53-91
59-80		 330-96-05
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.

206(II)
204(II)
  д.х.н. ТРУНОВА Валентина Александровна 53-20 330-96-05
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.		 238(II)
  ЧАГИН Максим Николаевич 55-65 330-96-05
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.		 210(II)
  к.ф.-м.н. ШАЯПОВ Владимир Равильевич 59-35
55-75		 330-96-05
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.		 110(II)
110a(II)
  ЮШИНА Ирина Викторовна 55-75 330-96-05
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.		 110a(II)
  к.х.н. ЯКОВКИНА Любовь Владимировна 55-87 330-96-05
This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.		 111(II)


Фундаментальные научные задачи 

  • Создание новых процессов синтеза пленок функциональных материалов на основе изучения фундаментальных закономерностей – взаимосвязи химического, фазового состава, структуры, физических и функциональных характеристик слоев и многослойных структур. Изучение возможных областей применения этих материалов.
  • Физико-химические исследования газофазных процессов синтеза пленок.

Основные направления исследований

  • Изучение процессов разложения легколетучих соединений в газовой фазе:
    • Термодинамическое моделирование многокомпонентных систем, используемых в процессах осаждения из газовой фазы.
    • Изучение кинетических закономерностей и механизма роста тонких пленок (полупроводниковых и диэлектрических материалов, оптических, твердых, защитных покрытий), синтезированных термическим и плазмохимическим разложением легколетучих элементоорганических и комплексных соединений.
    • Исследование химического и фазового состава, микроморфологии, структуры тонких слоев, их связи с условиями синтеза и природой подложки. Изучение механизмов термической и химической стабильности, старения и деградации получаемых материалов.
    • Получение данных о зависимости функциональных характеристик (электрофизических, оптических, магнитных и механических) синтезируемых пленок от их химического строения, структуры, типов примесных и собственных дефектов
    • Использование оптических методов при изучении пленок диэлектриков, полупроводников и металлов с целью определения их строения.
    • Изучение возможности применения покрытий.

 

Прикладные задачи, решаемые и разрабатываемые лабораторией 

  1. Развитие процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD) сложных объектов, в том числе материалов для наноэлектроники диэлектриков с высоким и низким значением диэлектрической константы.
  2. Синтез функциональных материалов в скоростных газовых потоках исходных веществ активацией плазмой мощного оптического пульсирующего разряда.
  3. Разработка методик исследования физико-химических свойств пленок оптическими методами.

 

Научные и производственные связи, партнеры 

Лаборатория имеет широкие научные контакты и осуществляет сотрудничество с российскими и зарубежными университетами и исследовательскими центрами. Совместная работа проводится в рамках проектов РФФИ.

  • Институт катализа им. Г.М. Борескова СО РАН, Новосибирск
  • Институт лазерной физики СО РАН, Новосибирск
  • Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск
  • Институт химии твердого тела СО РАН, Новосибирск
  • Институт цитологии и генетики СО РАН, Новосибирск
  • Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН, Новосибирск
  • Иркутский институт химии СО РАН
  • Московский институт стали и сплавов
  • Новосибирский государственный университет
  • Санкт-Петербургский государственный университет
  • Индийский институт науки, г. Бангалор, Индия
  • Институт полупроводников КАН, Пекин, КНР
  • Национальная физическая лаборатория, Дели, Индия
  • Национальный политехнический университет Армении, Ереван, Республика Армения
  • Национальный Университет Цинь-Хуа, Синджу, Тайвань
  • Университет науки и технологии Ляонинь, Аньшань, КНР
  • Университет Тохоку, Сендай, Япония
  • Уханский университет технологии, г. Ухан, КНР
  • Шеньянский университет химической технологии, Шеньян, КНР

 

- Проект РФФИ-BRICS 18-53-80016 «Биомедицинские покрытия из карбида кремния, полученные химическим осаждением из газовой фазы» (рук-ли проф. Б. Басу, проф. Р. Ту, к.х.н. Косинова М.Л.)

- Проект РФФИ-DST 19-53-45012 ИНД_а «Сопряженные гетероструктуры наностенок h-BCN и двумерных нанослоев» (рук. к.х.н. Меренков И.С.)

- Проект РФФИ – 18-53-52009 МНТ_а «Рост «high-k» диэлектриков на двумерных материалах и изучение их границы раздела для инновационной наноэлектроники» (рук. к.х.н. Лебедев М.С.)

 

Список уникального оборудования 

  • 9 установок для синтеза пленок методами ALD, PECVD, ICPCVD, LPCVD и PVD
  • растровый электронный микроскоп JSM 6700F с приставкой EDS EX-23000 BU
  • универсальный оптический микроскоп NU-2
  • спектральный эллипсометр ЛЭФ-511 КАСЭК
  • лазерный эллипсометр фотометрический ЛЭФ-3
  • прибор для измерения кривизны образцов, определения КТР и модуля Юнга
  • сканирующий спектрофотометр UV-3101PC

 

Видео

Тонкие пленки, которые нельзя увидеть! Большая Научная Экскурсия

Постер лаб. 417 на праздновании 65-летия ИНХ СО РАН (2022)

Фотовыставка Румянцева ЮМ 1

Фотовыставка Румянцева ЮМ 2
 

 

 

 

Фотоархив

2017

417 03  417 05

 

© ИНХ СО РАН 1998 – 2024 г.