Объявление о защите диссертации

Диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук

ШАЯПОВ Владимир Равильевич

"Физико-химические свойства плёнок, образующихся в плазмохимическом процессе осаждения из паров гексаметилдисилазана"

Научные руководители: к.х.н. Румянцев Юрий Михайлович, д.т.н. Аюпов Борис Мингареевич

Специальность: 02.00.04 – физическая химия (физико-математические науки)

Официальные оппоненты:

• д.х.н. Баковец Владимир Викторович (ИНХ СО РАН)
• д.ф.-м.н., доцент Панин Алексей Викторович (ФГБУН Институт физики прочности и материаловедения, г.Томск)

Ведущая организация:

ФГБУН Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (г. Новосибирск)

Защита: 18 июня 2013 года, 12:00 на заседании №10

Автореферат	654.4 Kb17.05.2013

Диссертационный совет Д 003.051.01
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт неорганической химии им. А.В. Николаева
Сибирского отделения Российской академии наук
630090, Новосибирск, пр. Ак. Лаврентьева, 3
тел. : 330-95-15