417 03 417 05

 

Лаборатория создана в 1963 году в связи с организацией в ИНХ СО АН СССР отдела химии полупроводников. Первоначальное название – лаборатория полупроводниковых пленок и защитных покрытий. В состав лаборатории вошли сотрудники трех подразделений, заведующим был назначен к.х.н. Ф.А. Кузнецов. В 1971 году после выделения из ее состава группы диэлектрических слоев лаборатория получила название лаборатории эпитаксиальных слоев. За 46 лет существования из лаборатории выделились три лаборатории (лаборатории Белого В.И., Стенина Ю.Г. и Окотруба А.В.) и две группы (Васильева Я.В. и Баковца В.В.). В 2008 году в состав лаборатории вошла часть лаборатории диэлектрических слоев. В 2018 году решением Ученого совета ИНХ СО РАН (прот. № 27 от 15.03.2018) лаборатория переименована в "Лабораторию функциональных пленок и покрытий". В настоящее время общая численность сотрудников составляет 22 человека. Возглавляет лабораторию к.х.н. М.Л. Косинова.

 Научные задачи  Прикладные задачи   Партнеры  Оборудование  Видео 

Заведующий лабораторией к.х.н. КОСИНОВА
Марина Леонидовна
57-94 330-96-05 237(II)
Заместитель заведующего к.х.н. РУМЯНЦЕВ
Юрий Михайлович
57-71 316-51-44 233(II)
Материально-ответственная МОРЖУХИНА
Галина Михайловна
53-20 316-51-44 238(II)
  к.т.н. БОРИСОВ
Виктор Одиссеевич
57-40 330-94-10 235(II)
  ВОЛЧОК
Нина Дмитриевна
55-87 330-94-10 111(II)
  к.х.н. ДЁМИН
Виктор Николаевич
57-40 316-51-44 235(II)
  к.х.н. Ермакова
Евгения Николаевна
55-65, 57-71 316-51-44 210(II), 233(II)
  КИЧАЙ
Вадим Николаевич
55-87 330-94-10 111(II)
  к.х.н. ЛебедевМихаил Сергеевич 53-91 330-98-70 206 (II)
  к.х.н. МАКСИМОВСКИЙ
Евгений Анатольевич
59-80   204(II)
  МАСЛОВА
Ольга Владимировна
53-83 316-56-39 205(II)
  ПРОХОРОВА
Сталина Александровна
53-65 330-66-46 234(II)
  д.х.н. СМИРНОВА
Тамара Павловна
59-35 330-94-10 110(II)
  СУЛЯЕВА
Вероника Сергеевна
59-80 316-98-70 206(II)
  к.х.н. ФАЙНЕР
Надежда Ильинична
55-65, 57-71 316-51-44 210(II), 233(II)
  ЧАГИН
Максим Николаевич
55-65 316-51-44 210(II)
  к.ф.-м.н. Шаяпов
Владимир Равильевич
55-75 330-94-10 110a(II)
  ЮШИНАИрина Викторовна 55-75 330-94-10 110a(II)
  к.х.н. ЯКОВКИНА
Любовь Владимировна
55-87 330-94-10 111(II)
  аспирант МЕРЕНКОВ Иван Сергеевич 53-65 330-66-46 234(II)
  аспирант ПЛЕХАНОВ
Александр Георгиевич
57-71 316-51-44 233(II)
  аспирант ПУШКАРЕВ Роман Владимирович 53-65 330-66-46 234(II)


Фундаментальные научные задачи 

  • Создание новых процессов синтеза пленок функциональных материалов на основе изучения фундаментальных закономерностей – взаимосвязи химического, фазового состава, структуры, физических и функциональных характеристик слоев и многослойных структур. Изучение возможных областей применения этих материалов.
  • Физико-химические исследования газофазных процессов синтеза пленок.
  • Разработка физико-химических основ получения высокочистых веществ и микрооднородных кристаллов с заданной степенью структурного совершенства. 

Основные направления исследований

  • Изучение процессов разложения легколетучих соединений в газовой фазе:
    • Термодинамическое моделирование многокомпонентных систем, используемых в процессах осаждения из газовой фазы.
    • Изучение кинетических закономерностей и механизма роста тонких пленок (полупроводниковых и диэлектрических материалов, оптических, твердых, защитных покрытий), синтезированных термическим и плазмохимическим разложением легколетучих элементоорганических и комплексных соединений.
    • Исследование химического и фазового состава, микроморфологии, структуры тонких слоев, их связи с условиями синтеза и природой подложки. Изучение механизмов термической и химической стабильности, старения и деградации получаемых материалов.
    • Получение данных о зависимости функциональных характеристик (электрофизических, оптических, магнитных и механических) синтезируемых пленок от их химического строения, структуры, типов примесных и собственных дефектов
    • Использование оптических методов при изучении пленок диэлектриков, полупроводников и металлов с целью определения их строения.
    • Изучение возможности применения покрытий.
  • Физико-химические основы очистки металлов (Cd, Sb, Te, Zn, In, Se), используемых при синтезе термоэлектрических материалов, методом свободной кристаллизации расплава во вращающемся контейнере.

 

Прикладные задачи, решаемые и разрабатываемые лабораторией 

  1. Развитие процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD) сложных объектов, в том числе материалов для наноэлектроники диэлектриков с высоким и низким значением диэлектрической константы.
  2. Синтез функциональных материалов в скоростных газовых потоках исходных веществ активацией плазмой мощного оптического пульсирующего разряда.
  3. Разработка методик исследования физико-химических свойств пленок оптическими методами.
  4. Создание более эффективных по сравнению с существующими технологиями получения сверхчистых веществ и термоэлектрических сплавов на основе метода вращающегося контейнера.

 

Научные и производственные связи, партнеры 

Лаборатория сотрудничает со многими российскими и зарубежными организациями:

  • Институт катализа им. Г.М. Борескова СО РАН
  • Институт химии твердого тела СО РАН
  • Институт автоматики и электрометрии СО РАН
  • Институт кристаллографии им. А.В.Шубникова РАН
  • Институт лазерной физики СО РАН
  • Институт общей и неорганической химии РАН
  • Институт химии силикатов РАН
  • Институт ядерной физики СО РАН
  • Институт физики полупроводников СО РАН
  • Иркутский институт химии СО РАН
  • Новосибирский государственный университет
  • Московский институт стали и сплавов
  • Технологический университет, г. Дармштадт, Германия
  • Университет Тохоку, Сендай, Япония
  • Институт физики КАН, Пекин, КНР
  • Институт полупроводников КАН, Пекин, КНР
  • Институт материаловедения и технологии г. Нингбо, КНР
  • Национальная физическая лаборатория, Дели, Индия и т.д.

 

Список уникального оборудования 

  • 5 установок для синтеза пленок методом PECVD  и CVD.
  • плазмохимическая установка для нанесения и исследования in situ диэлектрических покрытий сложного состава с ВЧ-индуктивной плазмой (13.56 МГц). Установка снабжена акустооптическим спектрометром «Кварц» и эллипсометром многоканальным ЕМ -70.
  • растровый электронный микроскоп JSM 6700F с приставкой EDS EX-23000 BU
  • растровый электронный микроскоп JSM T-200
  • универсальный оптический микроскоп NU-2 (2 шт.)
  • 4 установки для очистки материалов методом вращающегося контейнера
  • спектральный эллипсометр ЛЭФ-511 КАСЭК
  • лазерный эллипсометр фотометрический ЛЭФ-3
  • прибор для измерения кривизны образцов, определения КТР и модуля Юнга
  • установка вакуумного напыления металлов и сплавов. 

 

Видео

Тонкие пленки, которые нельзя увидеть! Большая Научная Экскурсия