НАЗНАЧЕНИЕ

Обзорный анализ твердых проводящих и непроводящих чистых веществ, возможно определение газообразующих примесей и галогенов.

Характеристики

Спектрометр

Спектрометр

Способ ионизации: излучение YAG-Nd лазера (f=10-100Гц, t=10-20нс, Е=1-10мДж, W=109-1010Вт/см2)

Механизм ионизации: квантовый (Тп=105 К, ne=1017-1020см-3, ΔE=100-1000эВ)

Локальность:

  • по площади 1-10мкм
  • по глубине 1-10мкм

Масс-анализатор: двойной фокусировки (m/Δm=1000-3000)

Регистрация: фотографическая

Кол-во определяемых элементов: 60-65

Пределы обнаружения:

  • абсолютный 10-9-10-11г
  • относительный 10-4-10-6%

Воспроизводимость: 10-30%

Правильность:

  • без стандартов 1-3 (КОЧ)
  • со стандартом 10-30%