НАЗНАЧЕНИЕ

Обзорный анализ твердых проводящих и непроводящих чистых веществ, возможно определение газообразующих примесей и галогенов.

Характеристики

Спектрометр

Способ ионизации: излучение YAG-Nd лазера (f=10-100Гц, t=10-20нс, Е=1-10мДж, W=10⁹-10¹⁰Вт/см²)

Механизм ионизации: квантовый (Т_п=10⁵ К, n_e=10¹⁷-10²⁰см^-3, ΔE=100-1000эВ)

Локальность:

• по площади 1-10мкм
• по глубине 1-10мкм

Масс-анализатор: двойной фокусировки (m/Δm=1000-3000)

Регистрация: фотографическая

Кол-во определяемых элементов: 60-65

Пределы обнаружения:

• абсолютный 10^-9-10^-11г
• относительный 10^-4-10^-6%

Воспроизводимость: 10-30%

Правильность:

• без стандартов 1-3 (КОЧ)
• со стандартом 10-30%