к.х.н. Косяков Виктор Иванович

ИНХ СО РАН

CVD диаграммы: соотношение между теорией и экспериментом

В докладе рассматриваются вопросы термодинамического моделирования процессов осаждения пленок и покрытий из многокомпонентной газовой фазы (chemical vapor deposition) и графического отображения результатов моделирования в виде CVD диаграмм. Обсуждается взаимосвязь между фазовыми и CVD диаграммами на примере систем Ru-C-O-H и Si-C-N-H-He(Ar). Анализируются проблемы построения CVD диаграмм при недостатке термодинамической информации. Обсуждаются возможности использования результатов исследования состава и строения пленок карбонитрида кремния SiC_xN_y для проверки адекватности термодинамического моделирования.