д.х.н., проф. Наталия Петровна Кузьмина

МГУ им. М.В. Ломоносова

Решение актуальных задач материаловедения с использованием координационных соединений

д.х.н., чл.-к. РАН Валентин Павлович Анаников

Институт органической химии им. Н.Д. Зелинского, г. Москва

Адаптивный катализ комплексами и наночастицами металлов в органическом синтезе

к.х.н. Косяков Виктор Иванович

ИНХ СО РАН

CVD диаграммы: соотношение между теорией и экспериментом

В докладе рассматриваются вопросы термодинамического моделирования процессов осаждения пленок и покрытий из многокомпонентной газовой фазы (chemical vapor deposition) и графического отображения результатов моделирования в виде CVD диаграмм. Обсуждается взаимосвязь между фазовыми и CVD диаграммами на примере систем Ru-C-O-H и Si-C-N-H-He(Ar). Анализируются проблемы построения CVD диаграмм при недостатке термодинамической информации. Обсуждаются возможности использования результатов исследования состава и строения пленок карбонитрида кремния SiC_xN_y для проверки адекватности термодинамического моделирования.