Электронная микроскопия и энергодисперсионная рентгеновская спектрометрия
Сканирующий электронный микроскоп JEOL JSM 6700F
![Сканирующий электронный микроскоп JEOL JSM 6700F Сканирующий электронный микроскоп JEOL JSM 6700F](/images/image/000658/01.jpg)
Назначение
Исследование морфологии поверхности и элементного состава образцов (все элементы от Be до U).
Технические характеристики
Увеличение | min ×25 max ×650000 |
Разрешение | 1 нм |
Ускоряющее напряжение | 0.5 – 30 кВ |
Управление | Машинное |
Вывод изображения | На компьютер |
Детекторы | Вторичных электронов, рентгеновских лучей |
Катод | Полевой эмиссии |
Рабочее расстояние | 1,5 – 25 мм |
Пределы перемещения | X: 70 мм; Y: 50 мм |
Наклон образца | От -50 до 600 |
Настольный сканирующий электронный микроскоп с энергодисперсионным анализатором химического состава TM-3000
![Настольный сканирующий электронный микроскоп с энергодисперсионным анализатором химического состава TM-3000 Настольный сканирующий электронный микроскоп с энергодисперсионным анализатором химического состава TM-3000](/images/image/000658/02.jpg)
Технические характеристики
- Высокий вакуум: диафрагменный насос + турбомолекулярный насос.
- Предельное разрешение – 30 нм.
- Предельное увеличение – 30 000, оптимальное увеличение - 5 000.
- Имеется режим стока заряда при пониженном вакууме для исследования диэлектриков.
ЭДА анализатор Bruker Nano позволяет полуколичественно определять распределение основных и неосновных элементов (от B до U) в «точке», вдоль линии и по площади.
Недопустимо исследовать магнитные образцы и образцы, содержащие летучие компоненты.
Примеры измерений, выполненных методом сканирующей электронной микроскопии
![Пленка Ni/Si (100) увеличение х650000 Пленка Ni/Si (100) увеличение х650000](/images/image/000658/03.png)
Пленка Ni/Si (100) увеличение х650000
![Пленка BCN/Ni/Si(100) увеличение х10000 Пленка BCN/Ni/Si(100) увеличение х10000](/images/image/000658/04.png)
Пленка BCN/Ni/Si(100) увеличение х10000
![Элемент микросхемы (в псевдоцвете) Элемент микросхемы (в псевдоцвете)](/images/image/000658/05.jpg)
Элемент микросхемы (в псевдоцвете)