Электронная микроскопия и энергодисперсионная рентгеновская спектрометрия
Сканирующий электронный микроскоп JEOL JSM 6700F
Назначение
Исследование морфологии поверхности и элементного состава образцов (все элементы от Be до U).
Технические характеристики
| Увеличение | min ×25 max ×650000 |
| Разрешение | 1 нм |
| Ускоряющее напряжение | 0.5 – 30 кВ |
| Управление | Машинное |
| Вывод изображения | На компьютер |
| Детекторы | Вторичных электронов, рентгеновских лучей |
| Катод | Полевой эмиссии |
| Рабочее расстояние | 1,5 – 25 мм |
| Пределы перемещения | X: 70 мм; Y: 50 мм |
| Наклон образца | От -50 до 600 |
Настольный сканирующий электронный микроскоп с энергодисперсионным анализатором химического состава TM-3000
Технические характеристики
- Высокий вакуум: диафрагменный насос + турбомолекулярный насос.
- Предельное разрешение – 30 нм.
- Предельное увеличение – 30 000, оптимальное увеличение - 5 000.
- Имеется режим стока заряда при пониженном вакууме для исследования диэлектриков.
ЭДА анализатор Bruker Nano позволяет полуколичественно определять распределение основных и неосновных элементов (от B до U) в «точке», вдоль линии и по площади.
Недопустимо исследовать магнитные образцы и образцы, содержащие летучие компоненты.
Примеры измерений, выполненных методом сканирующей электронной микроскопии
Пленка Ni/Si (100) увеличение х650000
Пленка BCN/Ni/Si(100) увеличение х10000
Элемент микросхемы (в псевдоцвете)
Энергодисперсионный анализ ВТСП